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抗静电系列＜PEEK ESD60＞＜PEI ESD60＞＜UPE ESD60＞＜抗静电FR4＞

材料特性

ESD半导体级产品，适用于元件操作和测试过程，以及CMP制程。用于高温环境的抗静电塑料产品。抗静电PEEK的表面电阻率为106 - 109 ohms/sq。PEEK ESD60的尺寸稳定性非常高，因此成为临界测试夹具的理想选材。它的耐化学性绝佳，适用作晶片传送，和湿制程用工具的结构件.

材料特点

永久性排静电。
高精度机加工，内应力低。
高强度和刚性
根据基础聚合物的不同，热性能介于 90~260℃之间[连续使用温度]

标准尺寸

Rochling公司的SUSTA+ ESD系列
｜単位：mm｜｜颜色：黑色｜

SUSTAPEEK ESD90 板材

620×1000×8～50t

SUSTARIN C ESD60 板材

620×1000×8～50t

SUSTARIN C ESD90 板材

620×1000×8～50t

Quadrant公司的Semitron® 半导体工程塑料系列
｜単位：mm｜｜颜色：黑色｜

Semitron® ESd 225 (抗静电POM)

610×1200×8～50t

Semitron® ESd 410（抗静电PEI )

610×1200×8～50t

Semitron® ESd 480 (抗静电PEEK)

610×1200×8～50t

Semitron® ESd 500HR (抗静电PTFE)

610×1200×8～50t

Semitron® ESd 520HR (抗静电PAI )

610×1200×8～50t

Quada公司的抗静电ESD/ELS导电系列
｜単位：mm｜｜颜色：黑色｜

抗静电POM / 导电POM

610×1200×8～50t

抗静电PEI / 导电PEI

610×1200×8～50t

抗静电PEEK / 导电PEEK

610×1200×8～50t

抗静电PTFE / 导电PTFE

610×1200×8～50t

抗静电 PE-UHMW / 导电PE-UHMW

610×1200×8～50t

抗静电 PC

1220×2440×1～20t

抗静电PVC

1220×2440×1～20t

因制造商，品牌和等级不同，长度，宽度，厚度和直径公差的大小也有所不同。大小可根据客户要求。

应用

半导体
芯片Nests和Sockets

精密加工技术

抗静电ESD系列性能比较表

项　　　目	试验方法	单　位	PAI	PEEK	PEI	PTFE	POM	MC ESD	PC	PVC	PMMA
项　　　目	试验方法	单　位	ESD520HR	ESD480	ESD420	ESD500HR	ESD225	501CDR6	ESD	ESD	ESD
颜色			黄褐灰色	黄褐灰色	黑色	白色	米色	黑色	透明	灰/白/蓝	透明
比重	1183	g/cm³	1.41	1.31	1.27	2.2	1.33	1.23	1.2	1.4	1.2
耐温(连续)		℃	250	250	170	260	90	120	125	55	70
耐温(短时)		℃	270	310	200	285	140	170	135		90
熔点		℃		340		330	165	220		120
玻璃化温度		℃	285		215				150		100
线热膨胀系数		m/(m.k)	30×10^-6	50×10^-6	35×10^-6	100×10^-6	150×10^-6	75×10^-6	65×10^-6	80×10^-6	70×10^-6
（23-100°C平均值）		m/(m.k)	30×10^-6	50×10^-6	35×10^-6	100×10^-6	150×10^-6	75×10^-6	65×10^-6	80×10^-6	70×10^-6
燃烧性(UL94)	4589		V-0	V-0	V-0	V-0	HB	HB	HB	V-0	HB
吸水率(23℃水中浸泡24小时)	62	%	0.29	0.06	0.26	0.03	5		0.18
-(23℃水中浸透)	62	%	4.5	0.45	1.35	2	10		0.35	0.2	0.3
弯曲拉伸应力/断震拉伸应力	527	MPa	120/-	100/-	105/-	-/10	-/38	85/-	70/-	90/-	125
裂断拉伸应变	527	%	10	20	2	>50	15	25	>50
拉伸弹性模量	527	MPa	4500	4400	6400	1800	1500	3500	2400	3000	3300
-1%/2%正常应变的压缩应力	604	MPa	27/35	29/57	25/49		11月20日	26/51	18/35	1.6/-
摆锤缺口冲击试验	179/1eU	kj/m²	10	3.5	4	5	8	3.5	9
摩擦系数						0.1	0.32		0.55	0.6
洛氏硬度	Jan-39	-	E79	M105	M115	R50	R106	M85	M75	82	90
体积电阻	-60093	Ω×cm	10¹⁰-10¹²	10⁶-10⁹	10⁶-10⁹	10¹⁰-10¹²	10⁹-10¹¹	10⁶-10⁸	1015	≥10¹⁵	≥10¹⁵
表面电阻	-60093	Ω	10¹⁰-10¹²	10⁶-10⁹	10⁶-10⁹	10¹⁰-10¹²	10⁹-10¹¹	10⁶-10⁸	10⁶-10⁸	10⁶-10⁸	10⁶-10⁸
项　　　目	试验方法	单　位	PAI	PEEK	PEI	PTFE	POM	MC ESD	PC	PVC	PMMA
项　　　目	试验方法	单　位	ESD520	ESD480	ESD420	ESD500HR	ESD225	501CDR6	ESD	ESD	ESD

抗静电系列＜PEEK ESD60＞＜PEI ESD60＞＜UPE ESD60＞＜抗静电FR4＞

材料特性

材料特点

标准尺寸

应用

精密加工技术

抗静电ESD系列性能比较表

塑料型材

加工技术

行业事例